[20a-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

[20a-A13-3] レオロジープリンティング法によるLaRuOナノパターンの作製

^○永原幸児¹，廣瀬大亮²，李金望²，徳光永輔^1,2，下田達也^1,2 (北陸先端大¹，グリーンデバイス研²)

キーワード：レオロジープリンティング,ナノインプリント,金属酸化物