[20a-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

△ [20a-A13-4] 熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御

^○野沢靖久¹，譚ゴオン¹，船迫友之¹，金子智^2,1，松田晃史¹，吉本護¹ (東工大総理工¹，神奈川県産技セ²)

キーワード：熱ナノインプリント,ナノパターニング,グラフォエピタキシー