[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-A19-5] ミニマル集光加熱炉における加熱効率および温度均一性の改善

^○三浦典子¹，相澤洸^1,2，山田武史^1,2，大西康弘^1,2，池田伸一^1,3，遠江栄希¹，石田夕起^1,3，三ケ原孝則¹，中戸克彦¹，ソマワン クンプアン^1,3，原朗^1,3 (ミニマルファブ¹，米倉製作所²，産総研³)

キーワード：ミニマル,熱酸化,加熱炉