2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月20日(土) 09:00 〜 12:15 A19 (E311)

10:00 〜 10:15

[20a-A19-5] ミニマル集光加熱炉における加熱効率および温度均一性の改善

三浦典子1,相澤洸1,2,山田武史1,2,大西康弘1,2,池田伸一1,3,遠江栄希1,石田夕起1,3,三ケ原孝則1,中戸克彦1,ソマワン クンプアン1,3,原朗1,3 (ミニマルファブ1,米倉製作所2,産総研3)

キーワード:ミニマル,熱酸化,加熱炉