[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-11] p/p+シリコンウェーハにおけるNiの偏析型ゲッタリング

^○鳥越和尚¹，小野敏昭¹，中村浩三^1,2 (SUMCO¹，岡山県立大²)

キーワード：シリコン,ゲッタリング,ニッケル