[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [20a-A20-2] Si結晶中の低濃度炭素の赤外吸収測定(V)　フォノン吸収による妨害の対策と規格化の検討

^○渡邉香¹，井上直久^2,6，後藤安則³，関洋文⁴，鵜野浩行⁵，河村裕一⁶ (システムズエンジニアリング¹，東京農工大²，トヨタ自動車³，東レリサーチセンター⁴，住重試験検査⁵，大阪府立大⁶)

キーワード：シリコン,赤外吸収,炭素