[20a-A25-6~13] 16.2 プロセス技術・デバイス

[20a-A25-11] 液体シリコンから作製したa-Si:H薄膜のグリーンレーザ結晶化

^○溝口雅裕¹，増田貴史¹，申仲栄¹，高岸秀行²，下田達也^1,2 (北陸先端大マテ¹，北陸先端大GDRC²)

キーワード：液体シリコン