12:00 PM - 12:15 PM
[20a-A25-12] The formation of thin poly-Si films on flat glass substrates by flash lamp annealing
Keywords:フラッシュランプアニール,触媒化学気相成長法,多結晶シリコン
Oral presentation
16. Amorphous and Microcrystalline Materials » 16.2 Processing technologies and devices
Sat. Sep 20, 2014 10:30 AM - 12:30 PM A25 (E318)
12:00 PM - 12:15 PM
Keywords:フラッシュランプアニール,触媒化学気相成長法,多結晶シリコン