[20a-A25-6~13] 16.2 Processing technologies and devices

[20a-A25-12] The formation of thin poly-Si films on flat glass substrates by flash lamp annealing

^○(M2)Taiki Watanabe¹, Keisuke Ohdaira¹ (JAIST¹)

Keywords:フラッシュランプアニール,触媒化学気相成長法,多結晶シリコン