[20a-A25-6~13] 16.2 プロセス技術・デバイス

[20a-A25-12] FLAによる平面ガラス上へのpoly-Si薄膜形成

^○（M2）渡邊大貴，大平圭介 (北陸先端大)

キーワード：フラッシュランプアニール,触媒化学気相成長法,多結晶シリコン