[20a-A25-6~13] 16.2 プロセス技術・デバイス

[20a-A25-7] MgZnO/ZnO薄膜を用いた赤外線イメージセンサ用薄膜材料の研究

^○太田裕紀，福山孔一，宝田隼，古川昭雄 (東理大院)

キーワード：赤外線イメージセンサ