[20a-B3-1~7] 17.1 成長技術

[20a-B3-2] hBN上への原子層WS₂の直接CVD合成

^○岡田光博¹，澤崎拓実¹，渡邊賢司²，谷口尚²，篠原久典¹，北浦良¹ (名大院理¹，物材機構²)

キーワード：遷移金属ジカルコゲナイド,CVD