2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[20a-PA2-1~11] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年9月20日(土) 09:30 〜 11:30 PA2 (第1体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PA2会場)

09:30 〜 11:30

[20a-PA2-9] シリコン酸化膜熱脱離時に形成される微細構造形成機構

長内翔大,吉田太祐,遠田義晴 (弘前大院)

キーワード:シリコン酸化膜,熱分解,ボイド