2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.2 絶縁膜技術

[20a-PA3-1~7] 13.2 絶縁膜技術

2014年9月20日(土) 09:30 〜 11:30 PA3 (第1体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PA3会場)

09:30 〜 11:30

[20a-PA3-4] 低誘電率SiCN電荷捕獲層の正孔捕獲特性

○(M1)田中伸,内藤慎二,小林清輝 (東海大院工)

キーワード:SiCN,電荷捕獲,不揮発性メモリデバイス