[20p-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

[20p-A13-6] X線小角散乱法によるナノインプリントパターンの形状計測

^○表和彦，伊藤義泰 (リガクX線研究所)

キーワード：ナノ形状計測,X線小角散乱,CD-SAXS