2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[Av-7] テガサイエンス(株)

■ナノクラスターソース ■電子ビーム蒸着源 ■RFアトム/イオンソース ■サーマルガスクラッカー ■その他薄膜成膜装置や各種真空システム