■大気圧プラズマ分析装置、二次イオン質量分析計（SIMS,SNMS)、プラズマイオンエネネルギーアナライザー付質量分析計、昇温脱離ガス分析計（TDS,TPD)、ラングミュアプローブ、大気圧サンプリング、ガス分析計、四重極質量分析計、SIMS型エンドポイントディテクター、チャンネルトロン、ディレイラインディテクター(DLD)、UPS（無停電電源） ■50KHｚ~100MHｚ、15KWまでの自動整合器、及び高周波電源、500WからのDC電源、5KWからのDCパルス電源、及び瞬間電電流供給能力400Aのユニポーラ／バイポーラ出力DCパルスコントローラー、光ファイバー温度計