2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[Ga-3] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス) ~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~ Dyvoce(ダイボス)は、ワークに最適な変位計を用いる非接触形状測定システムです。高精度ステージメーカーならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。
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