■ロックインアンプ(SRS) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■残留ガスアナライザ(SRS) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGXsensortech) ■赤外線カメラ (FLIR) ■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICEoxford) ■屈折率･膜厚測定装置