■ALD装置 ■MO-CVD装置 ■TEOS-CVD装置 ■スパッタ装置 ■EB装置 ■レーザーアブレーション装置 ■オゾン発生装置 ■蒸着装置 ■Cat-CVD装置 ■UHV排気装置 ■UHVゲートバルブ ■EBガンユニット ■真空計 ■ターボ分子ポンプ ■真空コンポーネント