■SmarAct社のピエゾステージは、クロスローラ・ベアリングガイドを採用したピエゾステージです。全ストロークをピエゾで移動しますので、長ストロークを高精度な位置決めが可能です。リニアステージと回転ステージを組み合わせてマニピュレーション・真空・非磁性用途などに最適なピエゾステージです。