■小型DPSSレーザー ■マシンビジョン用カメラシステム

～研究開発用実験装置・機器・部品～ ■有機ＥＬ成膜装置（1ｲﾝﾁ～4ｲﾝﾁ）※省ｽﾍﾟｰｽ・短納期・低ｺｽﾄ ■各種蒸着／分析装置用コンポーネント展示 ■各種導入機（直線・回転導入機） ■各種加工部品（特殊材料・セラミックス） ■超高真空チェンバー展示 ■真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中 ■新製品発表広告展示 　〔INFICON社製〕膜厚モニター・質量分析計など

■ＫＩＴＺグループとして、長年、半導体製造プロセスに特化した製品を製造・販売しております。今回の展示では、SUS製およびフッ素樹脂製のバルブ・継手を中心に、『200℃対応 フッ素樹脂製 ダイヤフラムバルブ』『ガラス配管用SQ継手』『熱交換器』をご紹介します。

■トランスデュ－サ型真空計シリ－ズ ■四重極型質量分析計 ■ヘリウムリ－クディテクタ ■ガス分析システム ■スパッタリング装置（パネルのみ）

■ファイバーレーザ ■Blue/ Violetレーザ

■研究・産業向けに様々な材料を提供する英国サプライヤー。約80,000点の金属・合金・セラミックス・ポリマー・複合材料・ガラス材料を取扱。32種類の形状、カタログに掲載のないカスタムオーダーにも対応。サンプル展示あり。

■GaN　MBEシステム ■高温蒸発源TUBOセル ■LT-STM/AFMシステム ■MBEコンポーネント

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポットサイズ2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■ハイパースペクトルイメージングシステム

■物質科学シミュレーションのポータルサイト: MateriApps(http://ma.cms-initiative.jp) の紹介をします。また、MateriAppsで紹介されている「物質科学シミュレーションソフト」のデモンストレーション及び、それらがプリインストールされたUSB (MateriApps LIVE!) の配布を行います。

■汎用マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COMSOL Multiphysics」 資料配付とソフトウェアのデモンストレーション展示

■UHVスパッタカソード、石英加工品、真空コンポーネント･真空装置

■光学技研は、1978年に設立された高精密光学部品と試作加工のリーディングカンパニーです。固体レーザ，光学システム及びその他用途の波長板，偏光子，各種光学結晶，高精度デバイスの開発と製造に特化しています。

■CVD材料 ■スパッタリングターゲット ■各種粉末 ■粒材料 ■スピンコート材料 ■その他

■高精度形状測定システムDyvoce（ダイボス） ～半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定～ Dyvoce（ダイボス）は、ワークに最適な変位計を用いる非接触形状測定システムです。高精度ステージメーカーならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

■ロックインアンプ(SRS) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■残留ガスアナライザ(SRS) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGXsensortech) ■赤外線カメラ (FLIR) ■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICEoxford) ■屈折率･膜厚測定装置

■微細形状測定機（段差計/膜厚計）　ET200

■超広帯域・長短パルス ハンズフリーフェムト秒レーザ ■高安定性 フェムト秒レーザー ■ 高エネルギー・高効率化 再生増幅器 etc.

■コンビナトリアル・スパッタ装置