■超高温　スーパーRTA装置（SR1800D） ■集光照射式赤外線真空炉（IVF298W） ■均温熱処理装置（GFA430VN）他

■ナノインプリント関連製品　反射防止膜（モスアイ構造）パネル展示、実物展示、回折格子サンプル（実物展示）、DOEレンズ（受託解析例）パネル展示、マイクロミラーアレー（実機展示）

■ 電子銃 ■球形真空チャンバー ■マルチ負荷デバイス ■高速パルサー・アッテネータ・ターミネータ ■各種アンプ ■MCP

TBD

■受託分析サービスの手法と事例のご紹介

■NEG+イオン一体型高真空用ポンプNEXTorr ■超高真空用非蒸発型NEG真空ポンプCapaciTorr ■NEXTorr / Capacitorr 他展示サンプル ■ゲッター製品/アルカリ金属ディスペンサー　等

■ミニマルレーザー加熱装置 ■各種ヒーター、センサー、コントローラー 等

■多くのお客様のご要望をいただき、製品化いたしました！樹脂や硝子・金属等の表面改質や、洗浄を行うプラズマ装置を小型化しました。卓上におけるサイズとなっています。樹脂成型品の洗浄・接着前処理、MEMSの洗浄等、乾

■高周波電源 ■高周波増幅器 ■ポストアンプ ■ＲＦコンポーネント

■最先端のプラズマCVD装置、ドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を紹介致します。

■XES-40S1 コンパクトソーラシミュレータ ■UV-CL280 簡易型UV照射装置

■コンパクト型ガス分析装置 ■ロータリーポンプ　など

■卓上型多種金属対応コンパクトコーター　SC-701MｋⅡ ADVANCE ■抵抗加熱式真空蒸着装置　SVC- 700TMSG/ 7PS80

■プラズマプロセスグループ イオンビームソース

■高速分光エリプソメーター（M-2000）シリーズ ■簡易型高速分光エリプソメーター（alpha-SE） ■太陽電池用分光エリプソメーター（T-Solar） ■多入射角分光エリプソメーター（VASE）

■英国 VG Scienta社製　超高真空用各種導入機器

■薄膜熱電対 ■透明ヒーター　他

■カタログ、「Material Matters」、「材料科学の基礎」などのニュースレター。

■1nm フィードバックステージシステム ■10nm フィードバックステージシステム ■真空対応 フィードバックステージシステム