2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[At-1] (株)菅原研究所

■プリンテッドエレクトロニクス用・UV硬化用ウルトラキセノン ■金属ナノインクフラッシュ焼結装置 ■薄膜シリコン熱処理用・UV硬化樹脂用・UV硬化樹脂用フラッシュ装置

[A-7] (株)スプリード

(株)スプリード ■ALD装置 ■MO-CVD装置 ■TEOS-CVD装置 ■スパッタ装置 ■EB装置 ■レーザーアブレーション装置 ■オゾン発生装置 ■蒸着装置 ■Cat-CVD装置 ■UHV排気装置 ■UHVゲートバルブ ■EBガンユニット ■真空計 ■ターボ分子ポンプ ■真空コンポーネント

[Al-6] スペクトロニクス(株)

■安定性に優れた自社開発、国内生産のスーパーコンティニューム(白色)光源
 波長帯域 : 520~2000nm
 平均出力 : > 4W
 出力安定性: 0.6%rms
 冷却方式 : 完全空冷式
■ビーム品質に優れた自社開発の全固体Qスイッチパルスグリーンレーザ
 波長  : 532nm
 平均出力: >10W@50kHz
 パルス幅: <10ns@10kHz、15n...

[Gop-13] (有)センソファージャパン

■SmarAct社のピエゾステージは、クロスローラ・ベアリングガイドを採用したピエゾステージです。全ストロークをピエゾで移動しますので、長ストロークを高精度な位置決めが可能です。リニアステージと回転ステージを組み合わせてマニピュレーション・真空・非磁性用途などに最適なピエゾステージです。