■完全非接触原子間力顕微鏡

■ワイヤーボンダー ■ダイボンダー ■プローバー ■高温電気炉 ■ＲＴＰ ■研磨機 ■プラズマクリーナー ■薄膜蒸着

■原子層堆積装置

■ファイファーバキューム社製　ターボ分子ポンプ、真空計　他■センテック社製　光学式膜厚計　他

■表面分析装置 ■PLD／Laser MBEシステム ■極低温冷凍機システム ■真空コンポーネント

■X線回折装置 ■Ｘ線管球

■MPPC/MPPCモジュール ■μPMTモジュール ■ORCA-Flash4.0 ■紫外半導体レーザ

■1．マスクレス露光装置 ■小型ＮＣ微細加工機 ■インクジェット装置

■μスパッタカソード、２”スパッタカソード、Ｋセル等のPVDコンポーネンツの実機展示及び米国MDC社、MeiVac社の真空コンポーネンツ、EBガン、マグネトロンスパッタカソード等のパネル展示を行います。

■走査型プローブ顕微鏡（SPM）

TBD

■Keopsys社　光ファイバー増幅器、ファイバーレーザ

■顕微ラマン装置 ■フォトルミネッセンス測定装置　パネル、カタログ展示

■計算機(PCサーバ)、シミュレーションソフトウェア

■研究開発用インクジェット装置 マテリアルプリンターDMP-2831

■超高速・高分解能AFM　Dimension FastScan ■ナノオーダーのケミカルマッピングを実現するAFMとIRの融合 ■生体材料研究用AFM　Dimension FastScan-Bio　/　BioScope Catalyst ■多機能材料評価X線回折装置　D8 DISCOVER ■エネルギー分散型微小部蛍光X線分析装置　M4 TORNADO

１．InP系エピタキシャル結晶: ・受光デバイス（フォトダイオード、太陽電池） ・発光デバイス（LED、端面発光レーザーEEL、面発光レーザーSEL）　・電子デバイス（HBT,HEMT)　２．InPフォトダイオード: ・格子整合inGaAs 吸収端1.7um サイズΦ100um～Φ3mm　 ・歪み系InGaAs 吸収端<2.6um　サイズΦ100um～Φ3mm　 ・4元素InGaAsP 吸収...

1. 光学・照明設計ソフトウェアZemax 2. 電磁光学設計ソフトウェアVirtualLab

■理科学、産業機器用　・コンパクトコリオリ式マスフローコントローラー(MiniCori-Flow) ・ウルトラコンパクトマスフローコントローラー ・圧力コントローラー(IQ+Flow)

■波長可変光源