■中・高粘度 非接触 ジェットディスペンサー「AEROJET」 ■PC制御画像認識付卓上塗布ロボット「350PC Smart」 ■高精度パーツ「ノズル＆シリンジ」

■精密研磨装置MA-200e ■精密手動スクライバーSC-100 ■ダイヤモンドワイヤーソーCS-203

■PL測定装置

■ピュアオゾンジェネレータ関連

■空気圧制御式アクティブ除振ユニット MRZシリーズ ■卓上型アクティブ除振システム ME40シリーズ ■耐震固定金具

■スパッタカソード ■HIPIMS(High -power Impulse Magnetron Sputtering)用パルス電源 ■反応性スパッタリング用プラズマエミッションモニターフィードバックコントローラ

■「ナノテクノロジープラットフォーム」は、文部科学省の委託に拠り、最先端の研究設備を広く一般の研究者・技術者の方々へ利用していただく事業です。ナノテクノロジー分野の更なる発展に寄与することを目的に、全国25ヶ所の大学・研究機関が一体となって、三つの技術領域（微細構造解析、微細加工、分子・物質合成）に於いて、最先端設備と共に、高度な技術支援を提供します。これらの概要と利用事例をご説明し、利用相...

■PBNヒータ、PBN静電チャック、PBNルツボ、BNパウダー、焼結BN、TaC/PBN/PGコーティング、HOPG