■スパッタ、プラズマCVD、EB蒸着装置のパネル展示およびコンポーネント機器の実機展示

1.蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、ＳｉＣ、白金、グラファイト、シース式等）　2.複合型PLD/MBE蒸着装置　3.多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

■高出力単一周波数DBRレーザー ■高出力VCSEL ■他各種レーザー（SLMレーザー含む） ■ピエゾステージ ■IBSコーティング光学部品 ■ピエゾモーターステージ

■プログラマブル電流増幅器 ■超低雑音増幅器 ■ディジタルロックインアンプ ■高速バイポーラ電源

■基板温度モニター ■ラジカルモニター

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■SiC用CVD装置 ■SiC用超高温プロセス炉 ■面発光レーザー用酸化装置 ■各種Kセル

■真空機器全般及び周辺機器の設計、製作、加工、販売、据付、調整等。 販売提携先: 株式会社サーモ理工、キヤノンアネルバ株式会社、アルバック機工株式会社

■パネル（ALD/ECRシステム紹介） ■成膜サンプル（Si基板上に成膜したサンプル）

■化合物結晶及び各種消耗品

■製品紹介パネル、製品アプリケーションパネル、エリオニクス全製品のカタログ

■APEX, JJAP 見本誌等

■小型分光器 ■波長可変レーザ

■大田区約4,000社の総合窓口！当協会では加工・製造の外注先をお探しの方へ最適な大田区企業を「無料」でご紹介しております。「試作」「難加工」など、お気軽にご相談ください。

■膜厚モニター FE-300 ■量子効率測定システム QE-2000

■CW3波長レーザ ■CW266nmDUVレーザ ■波長変換素子 ■各種モジュール

■原子間力顕微鏡 Cypher AFM, MFP-3D

■レーザパワーメータ ＆ レーザエネルギメータ ■レーザビームプロファイラ

■高機能ロックインアンプ