2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[Av-15] 北野精機(株)

~研究開発用実験装置・機器・部品~ ■有機EL成膜装置(1インチ~4インチ)※省スペース・短納期・低コスト ■各種蒸着/分析装置用コンポーネント展示 ■各種導入機(直線・回転導入機) ■各種加工部品(特殊材料・セラミックス) ■超高真空チェンバー展示 ■真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中 ■新製品発表広告展示  〔INFICON社製〕膜厚モニター・質量分析計など

[Av-4] (株)キッツエスシーティー

■KITZグループとして、長年、半導体製造プロセスに特化した製品を製造・販売しております。今回の展示では、SUS製およびフッ素樹脂製のバルブ・継手を中心に、『200℃対応 フッ素樹脂製 ダイヤフラムバルブ』『ガラス配管用SQ継手』『熱交換器』をご紹介します。

[At-7] (株)クレステック

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポットサイズ2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

[Ga-5] クロスライトソフトウェアインク日本支社

クロスライトソフトウェアインク日本支社 ■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

[Gx-7] 計算物質科学イニシアティブ(CMSI)

■物質科学シミュレーションのポータルサイト: MateriApps(http://ma.cms-initiative.jp) の紹介をします。また、MateriAppsで紹介されている「物質科学シミュレーションソフト」のデモンストレーション及び、それらがプリインストールされたUSB (MateriApps LIVE!) の配布を行います。

[Gop-12] (株)光学技研

■光学技研は、1978年に設立された高精密光学部品と試作加工のリーディングカンパニーです。固体レーザ,光学システム及びその他用途の波長板,偏光子,各種光学結晶,高精度デバイスの開発と製造に特化しています。

[Ga-3] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス) ~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~ Dyvoce(ダイボス)は、ワークに最適な変位計を用いる非接触形状測定システムです。高精度ステージメーカーならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

[Aa-5] コーンズテクノロジー(株)

■ロックインアンプ(SRS) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■残留ガスアナライザ(SRS) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGXsensortech) ■赤外線カメラ (FLIR) ■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICEoxford) ■屈折率・膜厚測定装置