一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:30 F2 (F204)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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14:00 〜 14:15

▲ [17p-F2-1] Semiconducting alloyed silicon-tin nanocrystals synthesized via confined plasma used for quantum dot solar cells.

^○ブラジミールシュブルチェック¹，マクルロセク¹，ダヴィデマリオッティ²，コウジマツバラ¹ (産総研¹，アルスター大²)

14:15 〜 14:30

△ [17p-F2-2] プラズマプロセス監視のための特性インピーダンスモニタリング法による負荷インピーダンス測定

^○本村大成¹，笠嶋悠司¹，福田修¹，上杉文彦¹，栗田裕之²，木村直也² (産総研¹，アドバンテスト²)

14:30 〜 14:45

[17p-F2-3] 高真空平板マグネトロン放電の二つのモードと動画観測

^○大野貴弘，伊藤勝利，宇原祥夫，三浦勉，斉藤茂 (東京理科大工)

14:45 〜 15:00

[17p-F2-4] モンテカルロシミュレーションによるラングミュアプローブのイオンンシース構造の解析

^○後藤誠 (関東職業能力開発大学校)

15:00 〜 15:15

▲ [17p-F2-5] カーリングプローブによるパルス変調プラズマの時分解密度測定

^○アニルパンデイ¹，榊原渉²，松岡宏之²，中村圭二¹，菅井秀郎¹ (中部大¹，DOWA サ-モテック²)

15:15 〜 15:30

[17p-F2-6] パルスDCマグネトロンプラズマ中の酸素負イオン計測

^○（M1）福岡侑士¹，小川勇人¹，高田昇治²，豊田浩孝^1,3 (名大工¹，名大技術部²，名大プラズマナノ工学研究センター³)

15:30 〜 15:45

[17p-F2-7] 誘導結合型HBrプラズマにおけるBrラジカル表面損失確率の評価

^○藤井良隆¹，飯野大輝¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²)

15:45 〜 16:00

[17p-F2-8] プロセス履歴のチャンバー壁表面損失確率への影響とH₂/N₂プラズマ中のラジカル密度の時間変化

^○鈴木俊哉，福永裕介，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，掘勝 (名大院工)

16:00 〜 16:15

△ [17p-F2-9] プラズマ中に光捕捉した単一微粒子を用いたプラズマと界面の相互作用評価

^○伊東鉄平¹，森田康彦¹，岩下伸也²，山下大輔¹，内田儀一郎³，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大¹，Ruhr Univ.²，大阪大³)

休憩 16:15〜16:30 (16:15 〜 16:30)

16:30 〜 16:45

△ [17p-F2-10] コヒーレントアンチストークスラマン散乱分光法を用いたナノグラフェン合成用液中プラズマの診断

^○小島和晃¹，安藤睦²，竹田圭吾²，石川健治²，太田貴之¹，伊藤昌文¹，堀勝² (名城大理工¹，名大院工²)

16:45 〜 17:00

△ [17p-F2-11] 気液界面ヘリウム直流グロー大気圧プラズマにおけるクエンチング効果および回転温度分布を考慮したOHラジカル密度分布計測

^○石亀裕晃，西山修輔，佐々木浩一 (北大工)

17:00 〜 17:15

[17p-F2-12] 大気圧以上のガス圧を有するマイクロ波プラズマにおけるレーザートムソン散乱計測(II)

相馬俊太郎¹，池田裕二²，^○佐々木浩一¹ (北大工¹，イマジニアリング²)

17:15 〜 17:30

[17p-F2-13] 非接触基板温度計測システムを用いたプラズマプロセス中の基板温度および熱流速計測

^○堤隆嘉¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，太田貴之²，伊藤昌文²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，名城大理工²)

17:30 〜 17:45

[17p-F2-14] TDLASによるICP支援DCマグネトロン放電の気体温度計測(Ⅲ)

^○松田良信，秋葉駿佑，坂口侑也，篠原正典 (長崎大院工)

17:45 〜 18:00

[17p-F2-15] 飽和吸収分光法によるアルゴン含有プラズマの電子密度測定の可能性

^○（M1C）王恵民，西山修輔，佐々木浩一 (北大工)

18:00 〜 18:15

[17p-F2-16] Ti Iのa⁵F_J→z⁵D_J-1 遷移のスペクトル形状

^○渡邉健太，西宮信夫，鈴木正夫 (東京工芸大院)

18:15 〜 18:30

[17p-F2-17] 反応性プラズマにおけるナノ粒子成長のバイスペクトル解析

森田康彦¹，^○伊東鉄平¹，山下大輔¹，内田儀一郎²，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大¹，大阪大²)