09:00 〜 09:15
○増田恭平1,小川新平2,3,高川陽輔1,宮下晃一1,木股雅章1 (立命館大学1,三菱電機2,NMEMS技術組合3)
一般セッション(口頭講演)
13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
09:00 〜 09:15
○増田恭平1,小川新平2,3,高川陽輔1,宮下晃一1,木股雅章1 (立命館大学1,三菱電機2,NMEMS技術組合3)
09:15 〜 09:30
○大石浩史1,赤井大輔2,石田誠1,2 (豊橋技科大工1,豊橋技科大EIIRIS2)
09:30 〜 09:45
○大江一樹1,米丸翔太1,大石浩史1,赤井大輔1,2,石田誠1,2 (豊橋技科大工1,豊橋技科大EIIRIS2)
09:45 〜 10:00
○HalubaiSekhar1,久保田智広1,VanToanNguyen2,小野崇人2,寒川誠二1,3 (東北大流体研1,東北大院工2,東北大WPI-AIMR3)
10:00 〜 10:15
○吉野裕1,妹尾武彦1,小池国彦1,瀬木利夫2,青木学聡2,松尾二郎2 (岩谷産業1,京大院工2)
休憩 10:15〜10:30 (10:15 〜 10:30)
10:30 〜 10:45
○米谷玲皇,中野和洋,石原直,割澤伸一 (東大工)
10:45 〜 11:00
○Rakesh Chand1,江刺正喜2,田中秀治1 (東北大工1,東北大、AIMR2)
11:00 〜 11:15
○桝屋善光1,髙橋一浩1,2,小澤遼1,飛沢健1,石田誠1,澤田和明1,2 (豊橋技科大1,JST-CREST2)
11:15 〜 11:30
○大橋亮太1,高橋一浩1,2,石田誠1,澤田和明1,2 (豊橋技科大1,JST-CREST2)
11:30 〜 11:45
○青木真由,古田太,朴澤一幸,花岡裕子,武田健一 (日立中研)