[18p-F2-1~13] 7.3 リソグラフィ

2014年3月18日(火) 14:00 〜 17:45 F2 (F204)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

14:00 〜 14:30

[18p-F2-1] 「ビーム応用分科内招待講演」（30分）EUV光利用によるEUVマスク検査技術

^○原田哲男^1,2，渡邊健夫^1,2，木下博雄^1,2 (兵庫県立大学¹，CREST/JST²)

14:30 〜 14:45

^○（M1）江村和也¹，渡邉健夫¹，山口太都¹，谷野寛仁¹，福井翼¹，塩野大寿²，春山雄一¹，村松康司¹，大森克実²，佐藤和史²，原田哲男¹，木下博雄¹ (兵庫県立大¹，東京応化工業²)

14:45 〜 15:00

^○山口太都¹，江村和也¹，福井翼¹，谷野寛仁¹，原田哲男¹，渡邊健夫¹，木下博雄¹，星野亮一² (兵庫県立大¹，グルーオンラボ²)

15:00 〜 15:15

若月隆一¹，能登雄介¹，^○西山聖¹，佐藤絵理子²，堀邊英夫² (金沢工大¹，阪市大院工²)

15:15 〜 15:30

後藤洋介¹，北村瞳¹，^○西山聖¹，小池国彦²，堀邊英夫³ (金沢工大¹，岩谷産業²，大阪市大³)

15:30 〜 15:45

^○山口徹，藤原聡 (NTT物性基礎研)

休憩 15:45〜16:00 (15:45 〜 16:00)

16:00 〜 16:15

^○上田直樹，笹子勝，菊田久雄，川田博昭，平井義彦 (阪府大工)

16:15 〜 16:30

^○上田直樹，笹子勝，菊田久雄，川田博昭，平井義彦 (阪府大工)

16:30 〜 16:45

^○堀内敏行¹，高田直貴²，小林宏史¹ (東京電機大工¹，東京電機大院工²)

16:45 〜 17:00

^○渡部義信，守屋正人，熊崎貴仁，對馬弘朗，黒須昭彦，太田毅，柿崎弘司，松永隆，溝口計 (ギガフォトン)

17:00 〜 17:15

^○諏訪輝，池田宏幸，勝海久和，浅山武志，對馬弘朗，熊崎貴仁，黒須照彦，太田毅，柿崎弘司，松永隆，溝口計 (ギガフォトン)

17:15 〜 17:30

^○池上尚克¹，小島明^1,3，吉田孝²，西野仁²，吉田慎哉²，宮口裕²，室山真徳²，大井英之³，越田信義¹，江刺正喜² (東京農工大¹，東北大²，クレステック³)

17:30 〜 17:45

^○山崎謙治，山口浩司 (NTT物性基礎研)