セッション情報

一般セッション(ポスター講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[18p-PA7-1~2] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA7 (アリーナ)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:30 〜 15:30

^○新部正人¹，平井翔大¹，川上烈生²，白濱達夫²，中野由崇³，向井孝志⁴ (兵庫県立大高度研¹，德島大院工²，中部大総工研³，日亜化学⁴)

13:30 〜 15:30

^○稲垣耕司^1,2，森川良忠¹，安武潔^1,2 (阪大院工¹，CREST-JST²)