[18p-PA8-1~14] 8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA8 (アリーナ)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:30 〜 15:30

[18p-PA8-1] 水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱を用いた多結晶Si膜形成とデバイスプロセス応用

^○中家大希¹，上村和貴¹，荒井哲司¹，有元圭介¹，山中淳二¹，佐藤哲也¹，中川清和¹，高松利行²，澤野憲太郎³ (山梨大¹，SST²，東京都市大³)

13:30 〜 15:30

^○（D）楊樹斌^1,2，王祥科²，永津雅章¹ (静大創造大学院¹，中国科学院・プラズマ物理研究所²)

13:30 〜 15:30

^○佐藤修一，西嶋慶，大内幹夫 (東京電機大)

13:30 〜 15:30

藤井栄人¹，渡邉直弥¹，丹羽駿太¹，森井良成¹，内田秀雄¹，吉田拓矢¹，^○池澤俊治郎¹，長瀬典男² (中部大工¹，長瀬鉄工所²)

13:30 〜 15:30

森井良成¹，丹羽駿太¹，藤井栄人¹，渡邉直弥¹，饒村修¹，^○池澤俊治郎¹，長瀬典男² (中部大工¹，長瀬鉄工所²)

13:30 〜 15:30

^○関聡史¹，森雄哉¹，安井晋示¹，寺添斉²，庄子和博² (名工大¹，電中研²)

13:30 〜 15:30

^○桑畑周司¹，毛塚智子¹，三上一行² (東海大工¹，東海大理²)

13:30 〜 15:30

^○桑畑周司¹，山口健志¹，本田拓椰¹，小島寿夫²，樺山一哉³ (東海大工¹，立命館大生命科学²，東海大糖鎖研³)

13:30 〜 15:30

^○竹中弘祐，宮崎敦史，川端一史，内田儀一郎，阿部浩也，節原裕一 (阪大接合研)

13:30 〜 15:30

^○内田儀一郎¹，竹中弘祐¹，宮崎敦史¹，川端一史¹，節原裕一¹，竹田圭吾²，石川健治²，堀勝² (阪大接合研¹，名大院工²)

13:30 〜 15:30

^○小野大帝¹，内田詳平¹，北崎訓¹，林信哉¹，白谷正治² (九大総理工¹，九大シス情²)

13:30 〜 15:30

^○（M1）久永容嵩，三重野哲 (静大理)

13:30 〜 15:30

^○白井直機，下川雄大，内田諭，杤久保文嘉 (首都大)

13:30 〜 15:30

^○柳生義人¹，松本直樹¹，猪原武士¹，山﨑隆志¹，林信哉²，大島多美子¹，川崎仁晴¹，須田義昭¹ (佐世保高専¹，九大総理工²)