[19a-F6-1~6] 8.4 プラズマエッチング

2014年3月19日(水) 11:00 〜 12:30 F6 (F306)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

11:00 〜 11:15

[19a-F6-1] プラズマプロセス中のポリメタクリル酸メチル（PMMA）表面の実時間・その場電子スピン共鳴法による反応解析

^○（PC）宮脇雄大¹，王浩然¹，石川健治¹，近藤祐介¹，竹田圭吾¹，近藤博基¹，堀邊英夫²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，大阪市大²)

11:15 〜 11:30

^○（D）中崎暢也，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

11:30 〜 11:45

^○村山貴英^1,2，作石敏幸^1,2，森川泰宏^1,2，鄒弘綱^1,2 (NMEMS技研機構¹，アルバック半電研²)

11:45 〜 12:00

^○（D）中崎暢也¹，松本悠²，鷹尾祥典¹，江利口浩二¹，斧高一¹ (京大院工¹，京大工²)

12:00 〜 12:15

^○張彦¹，石川健治¹，関根誠¹，深沢正永²，長畑和典²，冨谷茂隆²，辰巳哲也²，竹田圭吾²，近藤博基¹，堀勝¹ (名大¹，ソニー²)

12:15 〜 12:30

^○（M1）加古隆，劉沢セイ，石川健治，小田修，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)