[20a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:00 〜 09:15

[20a-E14-1] Siナノワイヤ幅の縮小によるカーケンダルボイド発生の抑制

^○武井康平¹，鹿浜康寛¹，山下広樹¹，小杉山洋希¹，橋本修一郎¹，孫静¹，松川貴²，昌原明植²，渡邉孝信¹ (早大理工¹，産総研²)

09:15 〜 09:30

^○岩津春生，松本俊行，星野智久 (東京エレクトロン)

09:30 〜 09:45

^○田嶋聡美¹，林俊雄¹，石川健治¹，関根誠¹，佐々木実²，山川晃司³，堀勝¹ (名大院工¹，豊田工大²，片桐エンジニアリング³)

09:45 〜 10:00

^○TaewoongKim，百瀬健，霜垣幸浩 (東大院工)

10:00 〜 10:15

高見澤悠¹，清水康雄¹，^○井上耕治¹，矢野史子^1,2，永井康介¹，国宗依信³，井上真雄³，西田彰男³，池田昌弘³ (東北大金研¹，東京都市大²，ルネサス³)

休憩 10:15〜10:30 (10:15 〜 10:30)

10:30 〜 10:45

^○部家彰¹，平野翔大¹，草壁史¹，松尾直人¹，神田一浩² (兵庫県立大工¹，兵庫県立大高度研²)

10:45 〜 11:00

^○陳訳，野口隆 (琉球大)

11:00 〜 11:15

^○（D）LienMai，SusumuHorita (JAIST)

11:15 〜 11:30

^○山本圭介¹，光原昌寿²，吹留佳祐³，野口竜太郎³，西田稔²，王冬²，中島寛¹ (九大産学連携センター¹，九大総合理工学研究院²，九大総合理工学府³)

11:30 〜 11:45

^○丸亀孝生，吉木昌彦，西義史，加藤弘一，三谷祐一郎 (東芝研開セ)