[20p-E14-1~4] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月20日(木) 13:15 〜 14:15 E14 (E302)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

昼食 11:45〜13:15 (11:45 〜 13:15)

13:15 〜 13:30

[20p-E14-1] 不純物・欠陥によるS原子ペアーのショットキー障壁変調への影響

^○加藤弘一，丸亀孝生，西義史，三谷祐一郎 (東芝研開セ)

13:30 〜 13:45

^○岡博史，箕浦佑也，細井卓治，志村考功，渡部平司 (阪大院工)

13:45 〜 14:00

^○森洋輔¹，鈴木崇弘¹，高東智佳子²，早瀬仁則¹ (東理大¹，荏原製作所²)

14:00 〜 14:15

原田和宏，小川有人，^○芦原洋司，由上二郎 (日立国際電気)