[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-D6-10] 硬質炭素膜の摩擦摩耗試験によるはく離評価

^○大花継頼，間野大樹，中村挙子 (産総研)

キーワード：硬質炭素膜,摩擦摩耗試験,はく離