[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-D6-2] プラズマCVD法によりベンゼンから合成したアモルファス炭素膜中の酸素分析

^○周小龍，小松啓志，戸田育民，大塩茂夫，村松寛之，伊藤治彦，齋藤秀俊 (長岡技科大院)

キーワード：アモルファス炭素膜,ベンゼン,酸素分析