[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-D6-4] グロー放電発光分析法（GD-OES）によるDLCの水素定量の検討

^○高原晃里^1,2，石神龍哉³，児玉憲治¹，古城篤志¹，安田啓介³，中村龍哉²，岡好浩² (リガク¹，兵庫県立大院工²，若狭湾エネ研³)

キーワード：DLC,水素分析,GD-OES