[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-D6-5] 異なる光学的特性を有するアモルファスカーボン膜のインピーダンス周波数特性

吉岡久志，周小龍，中谷恭之，荒川悟，大塩茂夫，小松啓志，戸田育民，村松寛之，^○齋藤秀俊 (長岡技大)

キーワード：アモルファスカーボン膜,インピーダンス周波数特性,光学的特性