[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17a-D6-9] 軟X線照射による水素化DLC膜の屈折率・消光係数の変化

^○今井亮¹，貴傳名健悟¹，藤本昌宏²，豊田紀章²，神田一浩¹ (兵庫県立大高度研¹，兵庫県立大工²)

キーワード：DLC,軟X線,屈折率