[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-2] 酸素を導入したRFスパッタ法によるZnO薄膜の評価

^○安倍大¹，森達哉²，千葉博²，奥田修平²，川島知之^1,2，鷲尾勝由^1,2 (東北大工¹，東北大院工²)

キーワード：酸化亜鉛,マグネトロンスパッタ法,Ar/O2