[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-5] 水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(2)

^○古澤健太郎^1,2，中沢駿仁^1,2，石川陽一¹，田代公則¹，秩父重英^1,2 (東北大多元研¹，東北大院工²)

キーワード：半導体,結晶成長