[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-8] VドープZnO薄膜の変則的な結晶性の劣化

^○千葉博，奥田修平，森達哉，川島知之，鷲尾勝由 (東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛,バナジウム,結晶成長