[17a-E11-1~5] 15.7 エピタキシーの基礎

[17a-E11-1] 歪解放による欠陥フリー単結晶アルミナ基板の作製

^○吉武道子，柳生進二郎，知京豊裕 (物材機構)

キーワード：格子ミスマッチ,拡散,FIB加工