[17a-E11-6~10] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[17a-E11-6] InAs量子ドット上の変調キャップ層成長中のXRDによるその場観察

^○下村憲一¹，鈴木秀俊²，佐々木拓夫³，高橋正光³，大下祥雄¹，神谷格¹ (豊田工大¹，宮崎大IRO²，原子力機構³)

キーワード：InAs量子ドット,X線回折,キャップ層