2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[17a-E11-6~10] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2014年3月17日(月) 10:30 〜 11:45 E11 (E205)

11:00 〜 11:15

[17a-E11-8] GaAs(001)面上窒素δドープ層形成過程における格子定数変化

西本徳久1,近藤正彦1石川史太郎2 (阪大院工1,愛媛大院理工2)

キーワード:分子線エピタキシー