[17a-E14-1~10] 12.7 医用工学・バイオチップ

[17a-E14-9] ＭＥＭＳ光干渉型バイオセンサにおける分子吸着に対するダイアフラムの変形評価

^○高橋一浩^1,2，小澤遼¹，石田誠¹，澤田和明^1,2 (豊橋技術科学大¹，ＪＳＴ－ＣＲＥＳＴ²)

キーワード：MEMS,biosensor