[17a-E2-1~56] 17.0 ナノカーボン（ポスター）

△ [17a-E2-28] スパッタリング堆積によるNi触媒微粒子の密度制御

^○（B）楠本雄司¹，小路紘史¹，関家一樹¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：スパッタ,ニッケル,触媒