[17a-E7-14~33] 10.2 スピントルク・スピン流・回路・測定技術

△ [17a-E7-32] 中性粒子ビームによる錯体化反応を用いた低温ダメージフリー遷移金属エッチングプロセス

^○Xun Gu¹，菊地良幸^1,2，野沢俊久¹，寒川誠二² (東京エレクトロン¹，東北大²)

キーワード：中性粒子ビーム,遷移金属エッチング,錯体化反応