[17a-F10-1~9] 9.5 新機能材料・新物性

[17a-F10-1] イットリウム市販原料の高純度化：フッ化物の除去

^○大友貴史¹，丹羽康太¹，斎藤由明¹，酒井政道¹，切金大輔¹，小坂昌史¹，長谷川繁彦² (埼大院理工¹，阪大産研²)

キーワード：イットリウム,薄膜